Молибдений Дисульфидын Нимгэн Үед Атомын Хүчний Микроскопийн Тусламжтай Литографи Явуулах Аргачлал

Authors

  • Мөнхсайхан Г Шинжлэх Ухаан Технологийн Их Сургууль, Хэрэглээний Шинжлэх Ухааны Сургууль, Физикийн тэнхим
  • Палл С
  • Оттавиано Л Италийн Лаквилагийн Их Сургууль, Физик Химийн салбар

DOI:

https://doi.org/10.22353/physics.v23i455.787

Abstract

Энэхүү ажилд нанохэмжээст MoS2-ийн гадаргууд литографи явуулах судалгааны үр
дүнг үзүүлэв. Механик хуулалтын аргаар гарган авсан MoS2-ийн “ширхэг”-ийн
гадаргууд атомын хүчний микроскопийн зүүний тусламжтай литографи явуулж
химийн идүүлэлтээр литографийн ул мөрийг цэвэрлэсэн болно. Литографи явагдсан
мужид атомын хүчний мироскопийн хэмжилт явуулж литографийн дараа ширхэгийн
үеийг хуулах боломжтойг харуулсан болно.

Downloads

Downloads

Published

2022-03-15

How to Cite

[1]
М. Г, П. С, and О. Л, “Молибдений Дисульфидын Нимгэн Үед Атомын Хүчний Микроскопийн Тусламжтай Литографи Явуулах Аргачлал”, Sci. tran. NUM, Phys., vol. 23, no. 455, pp. 85–87, Mar. 2022.

Issue

Vol. 23 No. 455 (2016): Физик

Section

Research article

License

Copyright (c) 2022 Физик сэтгүүл

Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial-ShareAlike 4.0 International License.

Most read articles by the same author(s)