Устөрөгчжүүлсэн аморф цахиурыг уугих цахилалтанд гарган авах төхөөрөмж

Authors

  • Алтанцог П Физикч
  • Паул В Физикч
  • Альберт М Физикч
  • Даваасамбуу Ж Монгол Улсын Их Сургууль, Шинжлэх Ухааны Сургууль, Физикийн Тэнхим
  • Чадраабал Ш Физикч
  • Бумаа Б Физикч
  • Шаде К Физикч
  • Батсуурь Д Физикч

DOI:

https://doi.org/10.22353/physics.v2i125.509

Abstract

В Монгольском государственном университете при содействии технического университета Дрездена создана лабораторная установка для получения гидрогенизированного аморфного кремния метолом разложения с ила на в тлеющем разреде. Установка состоит из вакуумной распылительной установки НВА-1, высокочастотного генератора IG-017 вакуумной системы и газораспеределительной части. Имеется возможность напыления металлических контактов в той же камере сразу после осаждения a=Si:H плёнок. Установка соответствует всем требованиям техники безопасности.

Downloads

Download data is not yet available.

Downloads

Published

2022-03-12

How to Cite

П, А., В, П., М, А., Ж, Д., Ш, Ч., Б, Б., К, Ш., & Д, Б. (2022). Устөрөгчжүүлсэн аморф цахиурыг уугих цахилалтанд гарган авах төхөөрөмж. Scientific Transaction of the National University of Mongolia. Physics, 2(125), 97–100. https://doi.org/10.22353/physics.v2i125.509

Issue

Vol. 2 No. 125 (1996): Физик

Section

Research article

License

Copyright (c) 2022 Физик сэтгүүл

Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial-ShareAlike 4.0 International License.

Most read articles by the same author(s)

1 2 3 > >>