Устөрөгчжүүлсэн аморф цахиурыг уугих цахилалтанд гарган авах төхөөрөмж

Abstract

В Монгольском государственном университете при содействии технического университета Дрездена создана лабораторная установка для получения гидрогенизированного аморфного кремния метолом разложения с ила на в тлеющем разреде. Установка состоит из вакуумной распылительной установки НВА-1, высокочастотного генератора IG-017 вакуумной системы и газораспеределительной части. Имеется возможность напыления металлических контактов в той же камере сразу после осаждения a=Si:H плёнок. Установка соответствует всем требованиям техники безопасности.